OKK大宮工業(yè)  晶圓擴片機  干燥機   OEX-SA系列 8inch / 12inch

OKH-MR-系列

使用雙流體噴霧清洗方法可以同時提高清洗效果和干燥效率！

載體清洗機是用于晶圓載體和載體盒的清洗和干燥機器。

它通過高壓噴淋進行清洗，并通過離心力和清潔空氣（或N2）進行干燥。

功能

提高干燥效率！

高速旋轉(zhuǎn)通過離心力將工件表面的水分分散開，同時經(jīng)過過濾的清潔空氣被吹入進行干燥。（也可以使用N2規(guī)格。）

該設備實現(xiàn)了干燥效果的提升。通過使用獨特的噴嘴，壓縮空氣可以吹走僅靠離心力無法分散的液滴。

考慮運行成本的環(huán)保規(guī)格

由于細顆粒被噴灑，這臺機器的去離子水消耗量比傳統(tǒng)機器減少了三分之一

這個環(huán)保設計考慮了設備價格和運行成本

OKK大宮工業(yè)  晶圓擴片機  干燥機   OEX-SA系列 8inch / 12inch

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化學品：SHINETSU信越化學、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、KONISHI小西

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機

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