ULVAC愛發(fā)科  渦輪分子泵   羅茨泵  UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS

特點

泵體和控制器分開?？刂破骺梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。

自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設計更靈活。

排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。

分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現(xiàn)壓力調節(jié)。

高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。

用途

各種設備的主真空排氣系統(tǒng)

- 半導體制造設備

- 蒸鍍設備

- 濺射設備

- 研究開發(fā)設備

- 分析設備、實驗裝置等

主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。

其他的高真空排氣系統(tǒng)

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