ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵 DIS-252

特點

雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。

可實現(xiàn)高極限真空。

低振動低噪音。

維護周期可通過計時表控制

ULVAC愛發(fā)科  多級羅茨型干泵  DIS-252

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